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探索真空等離子清洗機(jī)的清洗過程

更新時(shí)間:2020-07-16      點(diǎn)擊次數(shù):1833
   提起真空等離子清洗機(jī),它不分處理對象,可處理不同的基材,無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料都可用等離子體很好地處理,因此,特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。那么,關(guān)于它的清洗過程是怎樣的呢?今天小編就來說說吧
  真空等離子清洗機(jī)整個清洗過程大致如下:
  1、被清洗的工件送入真空式并加以固定,啟動運(yùn)行裝置,開始排氣,使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要幾分鐘。
  2、向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體,并保持腔內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)?、四氟化碳等氣體。
  3、在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體,讓在真空室產(chǎn)生的等離子體*籠罩住被處理工件,開始清洗作業(yè),一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十分鐘不等。
  4、清洗完畢后切斷電源,并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。
  上述就是小編對于真空等離子清洗機(jī)的清洗過程的介紹!相信大家應(yīng)該已經(jīng)有所了解了,今天小編就給大家介紹這么多,如果大家還有什么不明白,小編會隨時(shí)為您解答!

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