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大氣等離子清洗機(jī)的電極有哪些常見結(jié)構(gòu)

更新時間:2022-09-26      點(diǎn)擊次數(shù):1388
  電極的設(shè)計(jì)對大氣等離子清洗機(jī)的使用效果有著明顯的影響,主要包括電極的材料、布局和尺寸等因素。對于內(nèi)電極等離子清洗系統(tǒng),由于電極暴露在等離子體中,某些材料的電極會被一些等離子體刻蝕或發(fā)生濺射現(xiàn)象,造成不必要的污染并導(dǎo)致電極尺寸的變動,進(jìn)而影響等離子清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
  
  電極的布局對等離子清洗的速度和均勻性有較大影響,較小的電極間距能夠?qū)⒌入x子體限制在狹小的區(qū)域從而獲得較高密度的等離子體,實(shí)現(xiàn)較快速度的清洗。隨著間距的增加清洗速度逐漸下降但均勻性逐漸增強(qiáng)。
  
  電極的尺寸通常決定了等離子系統(tǒng)的整體容量,在電極平行分布的等離子清洗系統(tǒng)中,電極通常作為托盤使用,較大尺寸的電極能夠一次清洗更多的元器件,提高設(shè)備的運(yùn)行效率。
  

大氣等離子清洗機(jī)

 

  大氣等離子清洗機(jī)常見電極的結(jié)構(gòu)分類:
  
  一般等離子清洗機(jī)腔體設(shè)計(jì)為內(nèi)置式平板式結(jié)構(gòu),有利于等離子體的均勻分布,并能通過改變擱板的位置和電極來靈活的改變工作區(qū)間的大小和等離子清洗的強(qiáng)度,來適應(yīng)不同組件的清洗要求。
  
  平板水平電極式等離子清洗機(jī)這是常見的電極結(jié)構(gòu)。層與層之間的金屬電極面積相等,等離子體放電比較均勻,電極中間可以放托架,把需要處理的產(chǎn)品放置在托架上,層間距可以調(diào)整,電極上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷狀和粉體類的產(chǎn)品或材料不能處理,其它物品都可以。
  
  平板垂直電極式等離子清洗機(jī)這種電極結(jié)構(gòu)不是簡單把水平電極改為垂直就可以,層與層之間的金屬電極的間距,等離子體放電的均勻性,電極板的溫控,以及產(chǎn)品或材料的放置問題等,都是要充分考慮的。產(chǎn)品的擺放通常采用兩種方式:電極之間加上夾子或掛鉤來處理物品;在載物車上加夾子和掛鉤來處理物品,一般用于線路板處理。
  
  大氣等離子清洗機(jī)電極的材質(zhì)以及分布大小間距都對等離子清洗效果有一定的影響,在容性耦合等離子產(chǎn)生裝置下,電子密度與極板間距成正比例關(guān)系,平均電子溫度與極板間距成反比關(guān)系,其均勻性與極板間距成正比關(guān)系即隨著間距的增大均勻性變好,合理的電極設(shè)計(jì)能讓等離子清洗效果更好。

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